Lietuviška pavardė „Cilius“ yra patroniminė, kilusi iš vardo „Cilijus“. Šis vardas savo ruožtu siejamas su lotynišku „Caecilius“, kuris reiškia „aklas“ arba „prasimanantis“. Pavardė paplitusi Žemaitijos regione.
Įžymūs žmonės:
Robertas Cilius – Lietuvos irkluotojas, olimpietis.
Justinas Ciliauskas – knygnešys, visuomenės veikėjas (pavardė laikoma tos pačios šaknies išvestine).