Lietuviška pavardė, kilusi iš slaviško asmenvardžio Čech („čekas“) su priesaga -avičius, nurodančia sūnų arba kilmę. Tai patronimas, reiškiantis „Čecho sūnus“.
Įžymūs žmonės:
- Vladislovas Čachavičius (1920–1998) – Lietuvos dailininkas, grafikas.
- Marijonas Čachavičius (g. 1979) – Lietuvos archeologas, istorikas.
- Algirdas Čachavičius (g. 1952) – Lietuvos inžinierius, politikas.
Pavardė dažniausia Lietuvoje, ypač Vilniaus ir Šalčininkų rajonuose.